Tousimis A系列临界点干燥仪

产品特点：

1.手动、半自动、全自动及不同大小样品室可选

2.可用于SEM、TEM、MEMS等多种样品处理

3.采用带刻度的微型计量阀门精确控制LCO2流量

4.自动控制温度以及压力，并保持压力的稳定性

5.样品室设有照明灯及观察窗，便于观察样品状态

6.内置过滤系统，保护样品与阀门

7.坚固防腐蚀的箱体

8.所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准

9.不适于无尘室使用

标配附件：

柔性高压LCO2管线，1.5 m

外置LCO2过滤装置（去油/水及0.5 μm以上颗粒物）

防静电排空管线

备用样品室密封环（2），样品室灯泡（2），保险丝（2）

用户说明书及数据表

2年质保及终生免费技术支持

931新一代全自动临界点干燥仪

特点：

• 荣获2012年“今日显微学”奖

• 即可用于洁净实验室，也可用于非洁净实验室

• LCD触屏控制，全自动操作，可用于无尘室

• 独有“stasis”程序，可设置置换次数，轻松干燥气凝胶等样品

• 慢速充液功能，避免易碎样品结构被破坏

• 用户可针对特殊样品自定义编写程序

• 多种样品架可选，最小可处理2μm样品

• 易更换后过滤器、样品室CO₂过滤装置、非机械吹扫搅拌等多项Tousimis创新设计
  

• 内置SOTER冷凝器用于分离乙醇和CO₂，消除静电及吹扫噪音

• 强大的精确控制系统，确保处理结果的可重复性

  
  

  参数：

  
  

• 样品室尺寸：三种容积可选（内径不同，深度均为1.25"）

  　　1.25"（31.75mm × 31.75 mm），容积25 mL

  　　2.50"（63.50mm × 31.75 mm），容积100 mL

  　　3.40"（86.36mm × 31.75 mm），容积186 mL

• 三种尺寸对应的产品编号：8787A，8787B，8787C

• 温度范围：- 40 ℃ 至 60 ℃

• 压力范围：0 - 2000 psi

• VGA电阻触摸屏

  
  

  标配附件：

• 柔性不锈钢高压LCO₂管线，1.5m（非无尘室）或3.0m（无尘室）

• LCO₂过滤装置（去油/水及0.5μm以上颗粒物）

• 用于吹扫、放空、排气及冷却放空的防静电管线

• 样品室内环（2.5"和3.4"），用于调整样品室直径，减少CO₂消耗，提高干燥效率

• 用于校准排气速度的流量计

• 备用样品室密封环（2），样品室灯泡（2），5A保险丝（2）

• 用户说明书及数据表

• 2年质保及终生免费技术支持

Tousimis B系列临界点干燥仪

产品特点：

• 专为MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）制备而设计的台式全自动临界点干燥仪，防静电无尘室适用

• 标配不同尺寸晶圆架，每次可处理5个晶圆样品

• 标配样品室内环套装，适配不同的样品尺寸，减少LCO₂消耗，提高干燥效率

• 高效绝热冷却系统，可快速降温并在充液、吹扫时自动保温

• 独有SOTER冷凝器用于分离乙醇和CO₂，消除静电及吹扫噪音

• 内置压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性

• 外置0.5μm的LCO₂过滤装置，去除水、油和颗粒物
  

• 内置吹扫后过滤器，可过滤LCO₂内0.4μm以上杂质

• 每个操作模式均有LED显示，一目了然

• 样品室设有照明灯及观察窗，便于观察样品状态

• 带刻度的微型计量阀门控制LCO₂流量

• 微处理器控制，可全自动操作

• 操作参数可重复设定，确保结果可重复性
  

• 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准

  
  

  B系列干燥仪参数对比：

  

  
  

标配附件：

• 柔性高压LCO₂进液管线，3.0 m（无尘室）

• 防静电排空管线

• 外置SOTER冷凝器（分离乙醇和CO2，消除静电及吹扫噪音）

• 样品室内环（仅适用于915B与815B）可适配不同直径晶圆

• HF相容晶圆架（仅适用于915B与815B）与10mm方晶架，每个支架最多可放置5片晶圆样品

• 备用样品室密封环（3），样品室灯泡（2），保险丝（2）

• 安装工具组
  

• 用户说明书及数据表

• 2年质保及终生免费技术支持

  

Tousimis C系列落地式临界点干燥仪

Tousimis Touchscreen Series C 系列是在原C系列落地式临界点干燥仪多年成功经验的基础上，结合Tousimis独立研发的触屏控制界面全新推出的新一代产品。Touchscreen C 系列干燥仪具有高可靠性、高重复性、操作简便的特点，采用广受好评的专业触屏软件全自动控制，是提高MEMS研发与生产效率的必备利器。

产品特点：

• 专为MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）制备而设计的落地式全自动临界点干燥仪，无尘室适用

• 最大可处理8"晶圆，每次最多可处理5个晶圆

• 标配HF相容晶圆架和10mm方型晶圆架

• 标配专用样品室内环，可适配不同直径的晶片样品，节省LCO₂用量，缩短干燥时间，提高干燥效率

• LCD触控屏

• 可编程触屏控制界面，全自动控制

• 多种默认处理程序，也可自定义程序并重复使用

• 慢速充液功能，适用于各种易损样品

• 独有“Stasis”程序用于处理较厚或较难干燥的样品

• 高效内部冷却回路，快速降温，节省40%LCO₂

• 专用内置式SOTER冷凝器用于分离乙醇和CO₂，消除静电及吹扫噪音

• 外置两级过滤系统，可过滤LCO₂内0.08μm以上杂质

• 外置吹扫后过滤器，便于仪器维护

• 非机械式吹扫搅拌技术，免维护

• 内置压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性

• 精确参数控制，确保处理结果重复性
  

• 样品室设有照明灯及观察窗，便于观察样品状态

• 无尘室防静电兼容设计

• 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准

  
  

  C系列干燥仪参数对比：

  
  

标配附件：

• 柔性高压LCO2进液管线，3.0 m（无尘室）

• 外置两级LCO₂过滤装置（去油/水及0.5 μm以上颗粒物）

• 用于吹扫、放空、排气及冷却放空的防静电管线

• 备用样品室密封环（3），样品室灯泡（2），保险丝（2）

• 样品室内环，内径8"(仅适用于8.5英寸型号), 6"(仅适用于8.5与6.5英寸型号), 4", 3", 2", 1.25"，可适配不同直径晶圆

• HF相容晶圆架[8"(仅适用于8.5英寸型号), 6"(仅适用于8.5与6.5英寸型号), 4", 3", 2"]及10mm方形样品架，每个支架最多可放置5片晶圆或样品

• 安装工具
  

• 用户说明书及数据表

• 2年质保及终生免费技术支持

  
  

  

点击了解更多