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Tousimis C系列落地式临界点干燥仪

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产品详情



Tousimis Touchscreen Series C 系列是在原C系列落地式临界点干燥仪多年成功经验的基础上，结合Tousimis独立研发的触屏控制界面全新推出的新一代产品。Touchscreen C 系列干燥仪具有高可靠性、高重复性、操作简便的特点，采用广受好评的专业触屏软件全自动控制，是提高MEMS研发与生产效率的必备利器。


产品特点：


  • 专为MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）制备而设计的落地式全自动临界点干燥仪，无尘室适用

  • 最大可处理8"晶圆，每次最多可处理5个晶圆

  • 标配HF相容晶圆架和10mm方型晶圆架

  • 标配专用样品室内环，可适配不同直径的晶片样品，节省LCO2用量，缩短干燥时间，提高干燥效率

  • LCD触控屏

  • 可编程触屏控制界面，全自动控制

  • 多种默认处理程序，也可自定义程序并重复使用

  • 慢速充液功能，适用于各种易损样品

  • 独有“Stasis”程序用于处理较厚或较难干燥的样品

  • 高效内部冷却回路，快速降温，节省40%LCO2

  • 专用内置式SOTER冷凝器用于分离乙醇和CO2，消除静电及吹扫噪音

  • 外置两级过滤系统，可过滤LCO2内0.08μm以上杂质

  • 外置吹扫后过滤器，便于仪器维护

  • 非机械式吹扫搅拌技术，免维护

  • 内置压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性

  • 精确参数控制，确保处理结果重复性

  • 样品室设有照明灯及观察窗，便于观察样品状态

  • 无尘室防静电兼容设计

  • 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准

938 large.jpg


C系列干燥仪参数对比：


型号

Automegasamdri®-93‍4

Series C

Automegasamdri®-936‍

Series C

Automegasamdri®-938‍

Series C

产品编号
8788A8788B8788C
样品室尺寸4.5"(内径)×1.25"(深)6.5"(内径)×1.25"(深)8.5"(内径)×1.25"(深)
样品室容积326 ml679 ml1162 ml
降温时间<3 min<4 min<5 min
样品室内环4", 3", 2", 1.25"6", 4", 3", 2", 1.25"8", 6", 4", 3", 2", 1.25"
HF相容晶圆架4", 3", 2", 10mm6", 4", 3", 2", 10mm8", 6", 4", 3", 2", 10mm
温度压力范围- 30 ℃ ~ 60 ℃，0 ~ 2000 psi
设备尺寸50.3 cm (宽) ×　80.6 cm (深) ×　113.0 cm (高)



标配附件：

  • 柔性高压LCO2进液管线，3.0 m（无尘室)

  • 外置两级LCO2过滤装置（去油/水及0.5 μm以上颗粒物）

  • 用于吹扫、放空、排气及冷却放空的防静电管线

  • 备用样品室密封环（3），样品室灯泡（2），保险丝（2）

  • 样品室内环，内径8"(仅适用于8.5英寸型号), 6"(仅适用于8.5与6.5英寸型号), 4", 3", 2", 1.25"，可适配不同直径晶圆

  • HF相容晶圆架[8"(仅适用于8.5英寸型号), 6"(仅适用于8.5与6.5英寸型号), 4", 3", 2"]及10mm方形样品架，每个支架最多可放置5片晶圆或样品

  • 安装工具

  • 用户说明书及数据表

  • 2年质保及终生免费技术支持