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Tousimis C系列落地式临界点干燥仪
产品参数
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产品详情



Tousimis Touchscreen Series C 系列是在原C系列落地式临界点干燥仪多年成功经验的基础上,结合Tousimis独立研发的触屏控制界面全新推出的新一代产品。Touchscreen C 系列干燥仪具有高可靠性、高重复性、操作简便的特点,采用广受好评的专业触屏软件全自动控制,是提高MEMS研发与生产效率的必备利器。


产品特点:


  • 专为MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)制备而设计的落地式全自动临界点干燥仪,无尘室适用

  • 最大可处理8"晶圆,每次最多可处理5个晶圆

  • 标配HF相容晶圆架和10mm方型晶圆架

  • 标配专用样品室内环,可适配不同直径的晶片样品,节省LCO2用量,缩短干燥时间,提高干燥效率

  • LCD触控屏

  • 可编程触屏控制界面,全自动控制

  • 多种默认处理程序,也可自定义程序并重复使用

  • 慢速充液功能,适用于各种易损样品

  • 独有“Stasis”程序用于处理较厚或较难干燥的样品

  • 高效内部冷却回路,快速降温,节省40%LCO2

  • 专用内置式SOTER冷凝器用于分离乙醇和CO2,消除静电及吹扫噪音

  • 外置两级过滤系统,可过滤LCO2内0.08μm以上杂质

  • 外置吹扫过滤器,便于仪器维护

  • 非机械式吹扫搅拌技术,免维护

  • 内置压力控制模块,自动控制系统压力和保持压力稳定性

  • 精确参数控制,确保处理结果重复性

  • 样品室设有照明灯及观察窗,便于观察样品状态

  • 无尘室防静电兼容设计

  • 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准

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C系列干燥仪参数对比:


全新触屏C系列:


型号

(点击下载PDF)

Automegasamdri®-93‍4

Series C

Automegasamdri®-936

Series C

Automegasamdri®-938

Series C

产品编号
8788A8788B8788C
样品室尺寸4.5"(内径)×1.25"(深)6.5"(内径)×1.25"(深)8.5"(内径)×1.25"(深)
样品室容积326 ml679 ml1162 ml
温时间<3 min<4 min<5 min
样品室内环4", 3", 2", 1.25"6", 4", 3", 2", 1.25"8", 6", 4", 3", 2", 1.25"
HF相容晶圆架4", 3", 2", 10mm6", 4", 3", 2", 10mm8", 6", 4", 3", 2", 10mm
温度压力范围- 30 ℃ ~ 60 ℃,0 ~ 2000 psi
设备尺寸50.3 cm (宽) × 80.6 cm (深) × 113.0 cm (高)



标配附件:

  • 柔性高压LCO2进液管线,3.0 m(无尘室)

  • 外置两级LCO2过滤装置(去油/水及0.5 μm以上颗粒物)

  • 用于吹扫、放空、排气及冷却放空的防静电管线

  • 备用样品室密封环(3),样品室灯泡(2),保险丝(2)

  • 样品室内环,内径8"(仅适用于8.5英寸型号), 6"(仅适用于8.5与6.5英寸型号), 4", 3", 2", 1.25",可适配不同直径晶圆

  • HF相容晶圆架[8"(仅适用于8.5英寸型号), 6"(仅适用于8.5与6.5英寸型号), 4", 3", 2"]及10mm方形样品架,每个支架最多可放置5片晶圆或样品

  • 安装工具

  • 用户说明书及数据表

  • 2年质保及终生免费技术支持